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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为85英寸晶圆生孩子线配套设施的超软水体系,日常有含硅鑫霖环保废水150吨。鑫霖环保废水里面的虽无血本属,但硅硫含量高易水垢,且热敏电阻率需可达到18MΩ·cm才鑫霖环保废水加工处理。增加了加工处理工学艺尚未考虑新废止的《电子无线鑫霖环保水废弃物物产生要求》(GB39731-2020)特别产生标准值。 废污水因素特征 一般生态破坏物 :橡胶胶体部分硅(200-300mg/L)、粒子硅(粒度0.1-1μm) 特别规范 :TOC<10μg/L,硼含水量<5μg/L 水体性状 :低纯水电导率(<50μS/cm)但硅有机化合物特征繁多 治疗生产工艺具体流程 研发所采用"梯级膜分離+电去亚铁离子"结合艺: 微滤预加工处理 :1μm卫浴陶瓷膜阻拦大颗粒肥料硅,通量维护80LMH 铁离子交互不饱和树脂 :D201大孔光敏树脂使用性吸硅酸原子核 二次RO系统化 :1段回笼率60%,二是段采取高脱硼膜零件 EDI电去亚铁离子 :瞬时电流比热容2A/m²,不断去掉残留物阴离子 红外光谱杀菌的 :254nm太阳光的紫外线,线标准容量40mJ/cm² 技能特点 定制开发专属阻硅剂(生产胺类黏结物),延长时间膜环保问题时期3倍 EDI引擎企业创新流道设计制作,硅剔除率完善至99.8% 在线播放硅深入测试仪(测试规模0.1-500μg/L)实现目标精准性的控住 运动功效 经再次方测量: 总硅从280mg/L高于0.05mg/L 硼浓度从8μg/L降到0.3μg/L 整体收购率从原40%增强至68% 膜变更阶段延缓至5年,年程序运行投资成本变低35%

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